ULVAC愛發(fā)科皮拉尼真空計(jì)SW100-A

1. ?測(cè)量原理與范圍?

• ?原理?：基于皮拉尼效應(yīng)（Pirani Effect），通過測(cè)量氣體熱導(dǎo)率變化來精確評(píng)估壓力，適用于中等真空環(huán)境。

• ?壓力范圍?：覆蓋寬泛的真空區(qū)間，從粗真空到中等真空，具體數(shù)值需參考手冊(cè)，滿足多樣化的工業(yè)應(yīng)用需求。

2. ?物理與電氣特性?

• ?尺寸與重量?：采用緊湊設(shè)計(jì)，便于集成到復(fù)雜系統(tǒng)中，重量輕便，減少安裝負(fù)擔(dān)。

• ?電源要求?：標(biāo)準(zhǔn)電壓輸入，支持高效運(yùn)行，確保低能耗和穩(wěn)定性能。

3. ?性能與響應(yīng)?

• ?響應(yīng)時(shí)間?：快速響應(yīng)壓力變化，優(yōu)化實(shí)時(shí)監(jiān)控能力，提升工藝控制效率。

• ?精度?：高測(cè)量精度，確保在半導(dǎo)體制造和科研實(shí)驗(yàn)中提供可靠數(shù)據(jù)。

4. ?環(huán)境適應(yīng)性?

• ?工作溫度范圍?：適應(yīng)廣泛的工業(yè)環(huán)境，內(nèi)置保護(hù)機(jī)制防止溫度影響。

• ?防護(hù)等級(jí)?：符合工業(yè)安全標(biāo)準(zhǔn)，具備防塵和防潮特性，保障惡劣條件下的可靠性。

5. ?連接與接口?

• ?通信接口?：配備標(biāo)準(zhǔn)電子端口，支持與控制系統(tǒng)無縫集成，便于遠(yuǎn)程監(jiān)控和參數(shù)調(diào)整。

• ?安裝方式?：提供靈活選項(xiàng)，如法蘭或螺紋連接，簡化系統(tǒng)集成流程。

6. ?應(yīng)用場(chǎng)景?

• ?半導(dǎo)體制造?：用于刻蝕和沉積工藝，維持穩(wěn)定的真空條件，提升產(chǎn)品良率。

• ?科研與實(shí)驗(yàn)室?：在電子顯微鏡或粒子加速器中，確保高精度實(shí)驗(yàn)環(huán)境。

• ?鍍膜技術(shù)?：優(yōu)化光學(xué)鍍膜過程，減少氣體干擾，提高涂層均勻性。

7. ?優(yōu)勢(shì)與可靠性?

• ?耐用性?：采用耐腐蝕材料，延長使用壽命，降低維護(hù)頻率。

• ?智能功能?：集成實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)反饋，支持預(yù)防性維護(hù)，減少停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。